An exposure apparatus for transferring a pattern of a first object onto a
second object. The apparatus includes a holding member for holding the
first object. The first object is positioned on the holding member and
then is held thereon, and the first object as held by the holding member
is then aligned with respect to the second object. A detecting device,
provided on the holding member, directly detects in real time a relative
positional deviation between the first object and the holding member. The
detecting device detects the relative positional deviation after the first
object is held by the holding member and before the holding member
releases the holding of the first object.
Μια συσκευή έκθεσης για ένα σχέδιο ενός πρώτου αντικειμένου επάνω σε ένα δεύτερο αντικείμενο. Η συσκευή περιλαμβάνει ένα μέλος εκμετάλλευσης για το κράτημα του πρώτου αντικειμένου. Το πρώτο αντικείμενο τοποθετείται στο μέλος εκμετάλλευσης και έπειτα κρατιέται επ'αυτού, και το πρώτο αντικείμενο όπως το μέλος εκμετάλλευσης ευθυγραμμίζεται έπειτα όσον αφορά το δεύτερο αντικείμενο. Μια συσκευή ανίχνευσης, που παρέχεται στο μέλος εκμετάλλευσης, ανιχνεύει άμεσα στον πραγματικό χρόνο μια σχετική θεσιακή απόκλιση μεταξύ του πρώτου αντικειμένου και του μέλους εκμετάλλευσης. Η συσκευή ανίχνευσης ανιχνεύει τη σχετική θεσιακή απόκλιση αφότου το πρώτο αντικείμενο το μέλος εκμετάλλευσης και ενώπιον της εκμετάλλευσης το μέλος απελευθερώνει την εκμετάλλευση του πρώτου αντικειμένου.
