The invention relates to a method of manufacturing an indiffused optical
waveguide (6) in a substrate (1). A metal layer (7) and photoresist (8)
are deposited on a substrate (1) in this order. Portions of the
photoresist (8) are removed such that a photoresist structure (8)
corresponding to the desired waveguide structure is left. The exposed
portions of the metal layer (7) are removed by a chemical/physical etching
technique whereafter the remaining photoresist (8) is removed and the
remaining metal layer (7) is diffused into the substrate (1) by a heat
treatment. The usage of a chemical/physical etching method for removing
portions of the metal layer (7) results in smaller variations in the width
of the waveguide after indiffusion. Such waveguides are particularly
advantageous when being used in connection with acousto-optical devices.
The optical waveguides according to the invention are also useable with
other integrated optics devices.
Вымысел относит к методу изготовлять indiffused оптически волновод (6) в субстрате (1). Слой металла (7) и фоторезист (8) депозированы на субстрате (1) в этом заказе. Части фоторезиста (8) извлечутся таким что оставлена структура фоторезиста (8) соответствуя к заданной структуре волновода. , котор подвергли действию части слоя металла (7) извлекаются whereafter метода вытравливания chemical/physical остальной, котор фоторезист (8) извлекается и остальной слой металла (7) отражен в субстрат (1) обработкой жары. Использование метода вытравливания chemical/physical для извлекать части слоя металла (7) приводит к в более малых изменениях в ширине волновода после indiffusion. Такие волноводы определенно выгодны когда используемо в связи с acousto-optical приспособлениями. Оптически волноводы согласно вымыслу также годны к употреблению с другими интегрированными приспособлениями оптики.
