A microscale biosensor for use in the detection of target biological
substances including molecules and cells is a microfluidic system with
integrated electronics, inlet-outlet ports and interface schemes, high
sensitivity detection of pathogen specificity, and processing of
biological materials at semiconductor interfaces. A fabrication process
includes an all top-side processing for the formation of fluidic channels,
planar fluidic interface ports, integrated metal electrodes for impedance
measurements, and a glass cover sealing the non-planar topography of the
chip using spin-on-glass as an intermediate bonding layer. Detection
sensitivity is enhanced by small fluid volumes, use of a low-conductivity
buffer, and electrical magnitude or phase measurements over a range of
frequencies.
Micro-schaalbiosensor voor gebruik in de opsporing van doel biologische substanties met inbegrip van molecules en cellen is een microfluidic systeem met geïntegreerde elektronika, inham-afzet havens en interfaceregelingen, hoge gevoeligheidsopsporing van ziekteverwekkerspecificiteit, en verwerking van biologische materialen bij halfgeleiderinterfaces. Een vervaardigingsproces omvat helemaal een bovenkantverwerking voor de vorming van fluidic kanalen, vlak fluidic interfacehavens, geïntegreerde metaalelektroden voor impedantiemetingen, en een glasdekking die de non-planar topografie van de spaander verzegelt gebruikend rotatie-op-glas als middenlaag plakkend. De gevoeligheid van de opsporing wordt verbeterd door kleine vloeibare volumes, gebruik van een laag-geleidingsvermogenbuffer, en elektroomvang of fasemetingen over een waaier van frequenties.
