A exposure device including a lamp and integrator lens for exposure of a
substrate having a plurality of rectangular exposure zones and including a
substrate carrier capable of supporting a substrate. The substrate moves
in the X-Y directions and the respective exposure zones on the substrate
are progressively exposed. The exposure device also includes a holding
part for the integrator lens, which is composed of a parallel arrangement
of several lenses yielding a rectangular cross sectional shape, that
enables the integrator lens to turn 90.degree. around the optical axis of
the incident light. This arrangement permits precise illumination of the
exposure zones on the substrate as the exposure zones on the substrate
change orientation.
Un dispositif d'exposition comprenant un objectif de lampe et d'intégrateur pour l'exposition d'un substrat ayant une pluralité de zones rectangulaires d'exposition et incluant un porteur de substrat capable de soutenir un substrat. Les mouvements de substrat dans les directions de X-Y et les zones respectives d'exposition sur le substrat sont progressivement exposés. Le dispositif d'exposition inclut également une pièce se tenante pour l'objectif d'intégrateur, qui se compose d'arrangement parallèle de plusieurs objectifs rapportant une forme en coupe rectangulaire, qui permet à l'objectif d'intégrateur de tourner 90.degree. autour de l'axe optique de la lumière d'incident. Cet arrangement permet l'illumination précise des zones d'exposition sur le substrat comme zones d'exposition sur l'orientation de changement de substrat.
