A method of examining a sample, including: performing a first spectroscopic
analysis of a surface portion of the sample when the sample surface
portion is in a first electrical charge state; placing the sample surface
portion in a second electrical charge state that is different from the
first electrical charge state and performing a second spectroscopic
analysis of the surface portion of the sample when the sample surface
portion is in the second electrical charge state; and comparing the first
spectroscopic analysis result with the second spectroscopic analysis
result to obtain at least one of structural and electrical information
about the sample.
Une méthode d'examiner un échantillon, incluant : exécution d'une première analyse spectroscopique d'une partie extérieure de l'échantillon quand la partie de surface témoin est dans un premier état de charge électrique ; plaçant la partie de surface témoin dans un deuxième déclarer de charge électrique qui est différent du premier état et d'exécuter de charge électrique une deuxième analyse spectroscopique de la partie extérieure de l'échantillon quand la partie de surface témoin est dans le deuxième état de charge électrique ; et comparant le premier résultat spectroscopique d'analyse au deuxième résultat spectroscopique d'analyse pour obtenir au moins une d'informations structurales et électriques sur l'échantillon.
