Apparatus and method and system for measuring and controlling electrostatic
charge on objects such as semiconductor substrates include a cassette
having an inner structure with supporting slots and electrically
conductive regions, and having isolated conductive outer walls for
supporting objects in the slots, and include a charge monitor connected to
the conductive regions and the conductive walls for sensing charge
applicable to one or more objects carrying static charge positioned within
the cassette. Charge neutralization is controlled in response to sensed
charge attaining a selected level.
Приборы и метод и система для измерять и контролировать электростатическую обязанность на предметах such as субстраты полупроводника вклюают кассету имея внутреннюю структуру с поддерживая шлицами и электрически проводными зонами, и изолирующ проводные наружные стены для поддерживать возражает в шлицах, и вклюает монитор обязанности соединенный к проводным зонам и проводным стенам для воспринимать обязанность применимую к one or more предметам нося статическую обязанность расположенную внутри кассета. Обезвреживание обязанности controlled in response to воспринятая обязанность достигая выбранного уровня.
