An integrated device based upon semiconductor technology, in particular a
chemical microreactor, including a semiconductor body having a
high-temperature operating portion and a low-temperature operating
portion. The semiconductor body is provided with a thermal-insulation
device including a dissipator element arranged between the
high-temperature operating portion and the low-temperature operating
portion. The dissipator includes a membrane connecting the
high-temperature operating portion and the low-temperature operating
portion, and a plurality of diaphragms that extend substantially
orthogonal to the membrane and are parallel to one another.
Интегрированное приспособление основанное на технологии полупроводника, в частности химически микрореактор, включая тело полупроводника имея высокотемпературную работая часть и низкотемпературную работая часть. Тело полупроводника обеспечено с приспособлением термально-izol4qii включая элемент диссипатора аранжированный между высокотемпературной работая частью и низкотемпературной работая частью. Диссипатор вклюает мембрану соединяя высокотемпературную работая часть и низкотемпературную работая часть, и множественность диафрагм которые расширяют существенн ортогональное к мембране и параллельны до которое другое.
