A dryer for drying a substrate includes: a bath containing a fluid; a
chamber; and a delivery system supplying a polar organic compound, such as
isopropyl alcohol, and a hydrophobic organic compound, such as
hydrofluoroether, to the interface between the substrate and the fluid as
the substrate is removed from the fluid of the bath into the chamber. The
dryer further includes a chamber environment control system that supplies
a gas into the chamber to dry the substrate and controls temperature and
humidity in the chamber and a chamber heater attached to the chamber to
transfer thermal energy into the chamber. A drying method includes:
immersing a substrate into a fluid contained in a bath; removing the
substrate from the fluid into a chamber; and supplying isopropyl alcohol
and hydrofluoroether to an interface between the substrate and the fluid.
The method further includes: supplying a gas into the chamber to dry the
substrate and to control temperature and humidity in the chamber; and
heating the chamber to transfer thermal energy into the chamber and the
substrate.
Um secador para secar uma carcaça inclui: um banho que contem um líquido; uma câmara; e um sistema da entrega que fornecem um composto orgânico polar, tal como o álcool isopropílico, e um composto orgânico hydrophobic, tal como o hydrofluoroether, à relação entre a carcaça e o líquido como a carcaça são removidos do líquido do banho na câmara. O secador mais adicional inclui um sistema do controle ambiental da câmara que forneça um gás na câmara para secar a carcaça e controle a temperatura e a umidade na câmara e um calefator da câmara unido à câmara para transferir a energia térmica na câmara. Um método de secagem inclui: immersing uma carcaça em um líquido contido em um banho; removendo a carcaça do líquido em uma câmara; e álcool isopropílico e hydrofluoroether fornecendo a uma relação entre a carcaça e o líquido. O método mais adicional inclui: fornecendo um gás na câmara para secar a carcaça e para controlar a temperatura e a umidade na câmara; e heating a câmara para transferir a energia térmica na câmara e na carcaça.
