An electrostatic chuck which allows sufficiently rapid temperature
rising/dropping thereof, in case that the diameter of a ceramic substrate
is 190 mm or more or especially in case that the diameter of the ceramic
substrate is quite large, exceeding 300 mm. The electrostatic chuck
includes a ceramic substrate equipped with a temperature controlling
means, an electrostatic electrode formed on the ceramic substrate, and a
ceramic dielectric film provided on the electrostatic electrode. The
ceramic substrate has a diameter exceeding 190 mm and a thickness of 20 mm
or less, and the ceramic dielectric film contains oxygen in an amount of
0.1 to 20 weight %.
Een elektrostatische klem die voldoende snelle temperatuur toestaan die /, voor het geval daarvan toeneemt daalt dat de diameter van een ceramisch substraat 190 mm is of meer of vooral voor het geval dat de diameter van het ceramische substraat vrij groot is, overschrijdend 300 mm. De elektrostatische klem omvat een ceramisch substraat die met een temperatuur controlerend middel wordt uitgerust, een elektrostatische elektrode dat op het ceramische substraat wordt gevormd, en een ceramische diëlektrische film die op de elektrostatische elektrode wordt verstrekt. Het ceramische substraat heeft een diameter die 190 mm en een dikte van 20 mm of minder overschrijdt, en de ceramische diëlektrische film bevat zuurstof in een hoeveelheid 0,1 tot 20 gewicht %.
