There are disclosed a method for fabricating (processing) a micro-sample
used for the observation, analysis, and measurement by, for example, a
transmission electron microscope (TEM), and an equipment for specimen
fabrication (processing) used for carrying out the method. With the method
for specimen fabrication (processing) of the present invention, a
micro-sample to be separated and extracted from a specimen substrate is
sandwiched and held between a plurality of branch beams formed at the tip
of a beam. The beam holding the micro-sample is transferred onto a sample
holder, and the micro-sample is mounted (firmly held) on the sample
holder. After mounting the micro-sample on the sample holder, the beam is
detached and separated from the mounted micro-sample. By adopting such a
method, it is possible to fabricate a specimen for high reliability
observation, analysis, and measurement entailing less contamination, in a
shorter time and with efficiency.
É divulgado um método para fabricar (processar) um micro-sample usado para a observação, a análise, e a medida por, para o exemplo, um microscópio de elétron da transmissão (TEM), e um equipamento para a fabricação do espécime (processar) usada realizando o método. Com o método para a fabricação do espécime (processar) da invenção atual, um micro-sample a ser separado e extraído de uma carcaça do espécime é imprensado e prendido entre um plurality dos feixes da filial dados forma na ponta de um feixe. O feixe que prende o micro-sample é transferido em um suporte da amostra, e o micro-sample é montado (prendido firmemente) no suporte da amostra. Após ter montado o micro-sample no suporte da amostra, o feixe é destacado e separado do micro-sample montado. Adotando tal método, é possível fabricar um espécime para a observação, a análise, e a medida elevadas da confiabilidade que envolve menos contaminação, em uma estadia mais curta e com eficiência.
