Substantially sharp corners for optical waveguides in integrated optical
devices, photonic crystal devices, or for micro-devices, can be
fabricated. Non-sharp corners such as rounded corners, are first formed
using lithographic patterning and vertical etching. Next, isotropic
etching is used to sharpen the rounded corners. A monitor can be used to
determine if the rounded corners have been sufficiently sharpened by the
isotropic etching.
Las esquinas substancialmente agudas para las guías de onda ópticas en dispositivos ópticos integrados, dispositivos cristalinos photonic, o para los micro-dispositivos, pueden ser fabricadas. las esquinas No-agudas tales como esquinas redondeadas, primero se forman usando modelar litográfico y la aguafuerte vertical. La aguafuerte siguiente, isotrópica se utiliza para afilar las esquinas redondeadas. Un monitor se puede utilizar para determinarse si las esquinas redondeadas han sido afiladas suficientemente por la aguafuerte isotrópica.
