A plasma vacuum pump including an array of permanent magnets, one or more
plasma conduits or ducts, components for accelerating plasma ions through
these conduits, and supporting structures that together comprise at least
one applied plasma duct system (APDS) cell. The APDS cell permits large
volumes of particles and plasma to flow rapidly in a preferred direction
while constricting the flow of neutral particles in the reverse direction.
A plasma pump utilizing APDS technology is intended to permit a large
throughput of ionized gas at the intermediate pressures of interest in the
plasma-enhanced processing industry, compressing this gas to a pressure at
which blower-type pumps can be used efficiently to exhaust the spent
processing gas at atmospheric pressure.
Eine Plasmavakuumpumpe einschließlich eine Reihe dauerhafte Magneten, ein oder mehr Plasmarohre oder -luftschachte, Bestandteile für beschleunigenplasmaionen durch diese Rohre und Tragkonstruktionen, die zusammen ein mindestens enthalten, wendete Plasmaluftschacht-System (APDS) Zelle an. Die APDS Zelle ermöglicht große Volumen Partikel und Plasma, in eine bevorzugte Richtung beim Einengen des Flusses der Nullpartikel in der Rückwärtsrichtung schnell zu fließen. Eine Plasmapumpe, die APDS Technologie verwendet, soll einen großen Durchsatz des ionisierten Gases mit dem Zwischendruck des Interesses an der Plasma-erhöhten Verarbeitungsindustrie ermöglichen und drückt dieses Gas zu einem Druck zusammen, an dem Gebläse-Art Pumpen leistungsfähig benutzt werden kann, um das verbrauchte verarbeitengas mit atmosphärischem Druck zu erschöpfen.
