The XY stage mechanism comprises a Y slide shaft 2 penetrating through only
one side surface of the wall surfaces of a vacuum chamber 1 for holding a
stage base plate in a cantilevered manner, a Y air slide bearing 4 for
guiding the Y slide shaft 2, an X air slide plate 5, a first air slide
bearing 6 for supporting the X air slide plate 5, a coupling portion 8,
and a second X air slide bearing 9 serving as the guide of the coupling
portion 8, whereby, in a state where not only the Y slide shaft is floated
up but also the X air slide plate and coupling portion are floated up, the
XY stage is driven.
Het XY stadiummechanisme bestaat uit een de diaschacht 2 die van Y door slechts één zijoppervlakte van de muuroppervlakten doordringt van een vacuümkamer 1 want het houden van een stadiumgrondplaat in a manier, een de luchtdia van Y 4 voor het leiden van de diaschacht 2 dragen van Y, een van de de luchtdia van X plaat 5, een eerste luchtdia 6 voor het steunen van van de de luchtdia van X plaat 5 dragen, een koppelingsgedeelte 8, en een tweede de luchtdia cantilevered die van X 9 dragen dienend als gids van koppelingsgedeelte 8, waardoor, in een staat waar niet alleen de de diaschacht van Y omhoog wordt gedreven maar ook het van de de luchtdia van X de plaat en de koppelingsgedeelte is ntilevered manner, a Y air slide bearing 4 for guiding the Y slide shaft 2, an X air slide plate 5, a first air slide bearing 6 for supporting the X air slide plate 5, a coupling portion 8, and a second X air slide bearing 9 serving as the guide of the coupling portion 8, whereby, in a state where not only the Y slide shaft is floated up but also the X air slide plate and coupling portion are floated up, the XY stage is gedreven.
