Enhanced scanning probe microscope and nanolithographic methods using the same

   
   

An enhanced scanning probe microscope is provided with means for controlling the atmosphere surrounding the probe tip and the sample or surface to be scanned. Additional enhancements include a tip holder which can be tuned to reflect the laser light of the apparatus on the photodiode, a brace to stabilize the optical microscope relative to the sample and a mirror placed to allow visualization of the sample and tip from the side. Also provided is an enhanced method of nanolithography using an enhanced scanning probe microscope in which it is possible to control the atmosphere surrounding the probe tip and the substrate to be patterned or etched.

Een verbeterde aftastende sondemicroscoop wordt voorzien van middelen om de atmosfeer het sondeuiteinde en de steekproef omringen of af te tasten oppervlakte te controleren die. De extra verhogingen omvatten een uiteindehouder wat kan worden gestemd om op het laserlicht van de apparaten op de fotodiode, een steun te wijzen om de optische microscoop met betrekking tot de steekproef en een spiegel te stabiliseren die wordt geplaatst om visualisatie van de steekproef en het uiteinde van de kant toe te staan. Op voorwaarde dat ook een verbeterde methode van nanolithography die een verbeterde aftastende sondemicroscoop gebruikt is waarin het mogelijk is om de atmosfeer te controleren die het te vormen of te etsen sondeuiteinde en het substraat omringt.

 
Web www.patentalert.com

< Pharmaceutical compositions for poorly soluble drugs

< Method of forming low dielectric constant insulation film for semiconductor device

> Broadband impedance transformers

> Microparticle protection of therapeutic agents

~ 00113