An enhanced scanning probe microscope is provided with means for
controlling the atmosphere surrounding the probe tip and the sample or
surface to be scanned. Additional enhancements include a tip holder which
can be tuned to reflect the laser light of the apparatus on the
photodiode, a brace to stabilize the optical microscope relative to the
sample and a mirror placed to allow visualization of the sample and tip
from the side. Also provided is an enhanced method of nanolithography
using an enhanced scanning probe microscope in which it is possible to
control the atmosphere surrounding the probe tip and the substrate to be
patterned or etched.
Een verbeterde aftastende sondemicroscoop wordt voorzien van middelen om de atmosfeer het sondeuiteinde en de steekproef omringen of af te tasten oppervlakte te controleren die. De extra verhogingen omvatten een uiteindehouder wat kan worden gestemd om op het laserlicht van de apparaten op de fotodiode, een steun te wijzen om de optische microscoop met betrekking tot de steekproef en een spiegel te stabiliseren die wordt geplaatst om visualisatie van de steekproef en het uiteinde van de kant toe te staan. Op voorwaarde dat ook een verbeterde methode van nanolithography die een verbeterde aftastende sondemicroscoop gebruikt is waarin het mogelijk is om de atmosfeer te controleren die het te vormen of te etsen sondeuiteinde en het substraat omringt.
