Disclosed is methodology for determination of parameters which characterize
parameters such as thickness, color or quality of films deposited onto
objects of arbitrary shapes, utilizing spectroscopic ellipsometry applied
to standard shaped objects.
Αποκαλύπτεται η μεθοδολογία για τον προσδιορισμό των παραμέτρων που χαρακτηρίζουν τις παραμέτρους όπως το πάχος, το χρώμα ή η ποιότητα των ταινιών που κατατίθενται επάνω στα αντικείμενα των αυθαίρετων μορφών, η χρησιμοποίηση φασματοσκοπικού ellipsometry που εφαρμόστηκε στα πρότυπα διαμόρφωσε τα αντικείμενα.
