A polycarbonate polymer such as poly(cyclohexene carbonate) acts as a
positive electron beam resist, is substantially transparent to ultra
violet light and that depolymerizes when heated. The polymer acts as a
positive electron beam resist at 5 kV, and depolymerizes at temperatures
between approximately 200-300.degree. C. The polymer is removable from
underneath other layers by heating, facilitating fabrication of
overhanging structures such as tubes by depositing layers on top of the
polymer.
Ένα πολυμερές σώμα πολυανθράκων όπως το ανθρακικό άλας poly(cyclohexene) ενεργεί καθώς μια θετική δέσμη ηλεκτρονίων αντιστέκεται, είναι ουσιαστικά διαφανές στο υπερβολικό ιώδες φως και αυτός depolymerizes όταν θερμαίνεται. Το πολυμερές σώμα ενεργεί όπως μια θετική δέσμη ηλεκτρονίων αντιστέκεται σε 5 kV, και depolymerizes στις θερμοκρασίες μεταξύ περίπου 200-300.degree. γ. Το πολυμερές σώμα είναι μετακινούμενο από κάτω από άλλα στρώματα με τη θέρμανση, διευκολύνοντας την επεξεργασία των overhanging δομών όπως οι σωλήνες με την κατάθεση των στρωμάτων πάνω από το πολυμερές σώμα.
