It is explained, inter alia, a method for correcting scanning errors,
wherein after the scanning operation (step 202) scanning errors are
eliminated dependent on a deviation of the scanning speed from a required
scanning speed (step 210).
È spiegato, inter alia, un metodo per correggere gli errori di esame, in cui dopo che gli errori di esame di funzionamento di esame (punto 202) dipendano eliminato da una deviazione della velocità di esame da una velocità di esame richiesta (punto 210).