Systems and methods are described for wafer processing. A wafer processing
apparatus includes: a first wafer transporter; a process station coupled
to the first wafer transporter, the process station including: a first
plurality of wafer processing stacks, each of the plurality of wafer
processing stacks including a plurality of wafer processing modules, and
a second wafer transporter coupled to the plurality of wafer processing
modules, each of the plurality of wafer processing modules adjacent, and
accessible by, the second wafer transporter; and a third wafer
transporter coupled to the process station, wherein any of the plurality
of wafer processing modules in any of the plurality of wafer processing
stacks can be accessed by at least two adjacent wafer transporters from
among the first, second and third wafer transporter. The systems and
methods provide advantages from minimizing pre-process and/or
post-process times, minimizing variation of the pre-process and/or
post-process times and reducing robot over utilization.
Los sistemas y los métodos se describen para el proceso de la oblea. Una oblea que procesa el aparato incluye: un primer transportador de la oblea; una estación de proceso juntada al primer transportador de la oblea, la estación de proceso incluyendo: una primera pluralidad de oblea que procesa apilados, cada uno de la pluralidad de oblea que procesa apilados incluyendo una pluralidad de oblea que procesa los módulos, y un segundo transportador de la oblea juntado a la pluralidad de oblea que procesa los módulos, cada uno de la pluralidad de oblea que procesa los módulos adyacentes, y accesibles cerca, el segundo transportador de la oblea; y un tercer transportador de la oblea juntado a la estación de proceso, en donde cualquiera de la pluralidad de oblea que procesa los módulos en cualquiera de la pluralidad de oblea que procesa apilados se puede alcanzar por por lo menos dos transportadores adyacentes de la oblea entre del primer, segundo y tercer transportador de la oblea. Los sistemas y los métodos proporcionan ventajas de la reducción al mínimo preprocesan y/o postprocesan épocas, reduciendo al mínimo la variación del preprocesar y/o postprocesan épocas y robusteza de la reducción sobre la utilización.
