Semiconductor run-to-run control system with state and model parameter estimation

   
   

A method for a run-to-run (R2R) control system includes processing materials using a process input and producing a process output, storing the process input in a database, the storing including using a timestamp, and storing at least one measurement of the process output in the database aligned with each process input using the timestamp. The method further includes iterating over the data in the database to estimate one or more coefficients for a model, and, if one or more measurements is missing, replacing the missing measurements based on a prediction from said model. The model is updated with said coefficient estimates. The method additionally includes iterating over the data from the database to estimate a process state, and, if one or more of the measurements is missing from the database, replacing the missing measurements based on prediction from the model. The model is updated with said process state estimate. A controller may receive the updated model and utilize the model to produce the next process input. The updated model may also be utilized to generate an estimate for a measurable process variable, wherein the estimate can be compared to an actual measurement to determine if the estimate is within confidence limits. If the estimate is not within confidence limits, a fault is indicated.

Um método para funcion-à-funciona o sistema de controle (R2R) inclui processar materiais usando uma entrada process e produzindo uma saída process, armazenando a entrada process em uma base de dados, armazenar including usar um timestamp, e armazenar ao menos uma medida da saída process na base de dados alinhada com cada entrada process usando o timestamp. O método mais adicional inclui iterar sobre os dados na base de dados para estimar um ou mais coeficiente para um modelo, e, se um ou o mais medida faltar, substituindo as medidas faltantes baseadas em uma predição de modelo dito. O modelo é atualizado com estimativas ditas do coeficiente. O método inclui adicionalmente iterar sobre os dados da base de dados para estimar um estado process, e, se uma ou mais das medidas faltarem da base de dados, substituindo as medidas faltantes baseadas na predição do modelo. O modelo é atualizado com estimativa process dita do estado. Um controlador pode receber o modelo updated e utilizar o modelo para produzir a entrada process seguinte. O modelo updated pode também ser utilizado para gerar uma estimativa para uma variável process measurable, wherein a estimativa pode ser comparada a uma medida real para determinar se a estimativa estiver dentro dos limites de confiança. Se a estimativa não estiver dentro dos limites de confiança, uma falha está indicada.

 
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