An apparatus for supercritical processing of multiple workpieces comprises
a transfer module, first and second supercritical processing modules, and
a robot. The transfer module includes an entrance. The first and second
supercritical processing modules are coupled to the transfer module. The
robot is preferably located with the transfer module. In operation, the
robot transfers a first workpiece from the entrance of the transfer module
to the first supercritical processing module. The robot then transfers a
second workpiece from the entrance to the second supercritical processing
module. After the workpieces have been processed, the robot returns the
first and second workpieces to the entrance of the transfer module.
Alternatively, the apparatus includes additional supercritical processing
modules coupled to the transfer module.
Een apparaat voor overkritische verwerking van veelvoudige werkstukken bestaat uit een transfermodule, eerst en uit tweede overkritische verwerkingsmodules, en uit een robot. De transfermodule omvat een ingang. De eerste en tweede overkritische verwerkingsmodules worden gekoppeld aan de transfermodule. De robot wordt bij voorkeur gevestigd met de transfermodule. In verrichting, brengt de robot een eerste werkstuk van de ingang van de transfermodule aan de eerste overkritische verwerkingsmodule over. De robot brengt dan een tweede werkstuk van de ingang aan de tweede overkritische verwerkingsmodule over. Nadat de werkstukken zijn verwerkt, komt de robot de eerste en tweede werkstukken op de ingang van de transfermodule terug. Alternatief, omvat het apparaat extra overkritische verwerkingsmodules die aan de transfermodule worden gekoppeld.
