Generally, an end effector assembly for a substrate transfer robot is
provided. In one embodiment, an end effector assembly for supporting a
quadrilateral substrate during substrate transfer includes an end
effector having an inner edge support disposed on a first end and a first
outer edge support disposed on a distal end. The first end of the end
effector is adapted for coupling to a robot linkage. The first inner edge
support has a face that is oriented parallel to and facing the face of
the first outer edge support. This configuration of edge supports
captures the substrate to the end effector thereby minimizing substrate
slippage during transfer. In another embodiment, lateral guides may be
utilized to further enhance capturing the substrate along the edges of
the substrate open between the inner and outer edge supports.
Over het algemeen, wordt een assemblage van de eindeffector voor een robot van de substraatoverdracht verstrekt. In één belichaming, omvat een assemblage van de eindeffector voor het steunen van een quadrilateral substraat tijdens substraatoverdracht een eindeffector die een binnenrandsteun heeft die op een eerste eind wordt geschikt en een eerste buitenrandsteun die op een distaal eind wordt geschikt. Het eerste eind van de eindeffector wordt aangepast voor het koppelen aan een robotaaneenschakeling. De eerste binnenrandsteun heeft een gezicht dat georiënteerde parallel aan en het onder ogen zien van het gezicht van de eerste buitenrandsteun is. Deze configuratie van randsteunen vangt het substraat aan de eindeffector daardoor minimaliserend substraatslip tijdens overdracht. In een andere belichaming, kunnen de zijgidsen worden gebruikt om het vangen van het substraat langs de randen van het substraat verder te verbeteren open tussen de binnen en buitenrandsteunen.
