A laser process in which stripe formation due to laser annealing is
prevented and uniform laser annealing is made over the whole surface of a
substrate. A laser beam having an energy distribution with an edge which
has a nearly vertical shape l used, and when scanning of the laser beam is
carried out, the scanning is carried out while the edge having the nearly
vertical shape is made the front of the scanning.
Μια διαδικασία λέιζερ στην οποία ο σχηματισμός λωρίδων λόγω στην ανόπτηση λέιζερ αποτρέπεται και η ομοιόμορφη ανόπτηση λέιζερ γίνονται πέρα από ολόκληρη την επιφάνεια ενός υποστρώματος. Μια ακτίνα λέιζερ που έχει μια ενεργειακή διανομή με μια άκρη που μια σχεδόν κάθετη μορφή λ, και όταν η ανίχνευση της ακτίνας λέιζερ πραγματοποιείται, η ανίχνευση πραγματοποιείται ενώ η άκρη που έχει τη σχεδόν κάθετη μορφή γίνεται το μέτωπο της ανίχνευσης.
