To provide an ArF excimer laser device capable of a pulsewidth FWHM of 20
ns or more, a pulse duration time of 50 ns or more, and a spectrum line
width FWHM of 0.35 pm or less, and to provide a KrF excimer laser device
and a fluorine laser device with stretched pulse widths. The ArF excimer
laser device connects to the output terminal of a magnetic pulse
compression circuit and has a pair of laser discharge electrodes located
within the laser chamber and a peaking capacitor connected in parallel
with the pair of laser discharge electrodes. The output waveform of the
laser pulse has a bifurcated form with a front half peak and a later half
peak and, if the peak value of the front half peak is P.sub.1 and the peak
value of the later half peak is P.sub.2 and the (proportion of the pulse
later half peak)=P.sub.2 /(P.sub.1 +P.sub.2).times.100(%), then the
(proportion of the pulse later half peak) is 50% or more.
Om een excimer ArF laserapparaat te verstrekken geschikt voor pulsewidth FWHM van 20 NS of meer, een tijd van de impulsduur van 50 NS of meer, en een breedte FWHM van de spectrumlijn van 0,35 p.m. of minder, en een excimer KrF laserapparaat en een apparaat van de fluorlaser te voorzien van uitgerekte impulsbreedten. Het excimer ArF laserapparaat verbindt met de outputterminal van een magnetische kring van de impulscompressie en heeft een paar elektroden van de laserlossing die binnen de laserkamer en een een hoogtepunt bereikende condensator worden gevestigd die parallel met het paar elektroden van de laserlossing wordt verbonden. De outputgolfvorm van de laserimpuls heeft a bifurcated vorm met een voor halve piek en een recentere halve piek en, als de piekwaarde van de voor halve piek P.sub.1 is en de piekwaarde van de recentere halve piek P.sub.2 en is (aandeel van de impuls recentere halve peak)=P.sub.2/(P.sub.1 + P.sub.2).times.100(%), dan (aandeel van de impuls recentere halve piek) is 50% of meer.
