The invention is a hybrid chuck for securing workpieces with an
electrostatic charge. The hybrid chuck includes a dielectric base for
supporting the hybrid chuck. The dielectric base has a top surface and a
conductive layer covers at least a portion of the top surface of the
dielectric base. The conductive layer is conductive for receiving a
current that creates an electrostatic charge and is non-metallic for
maintaining the electrostatic charge without significant eddy current
losses in the presence of dynamic electromagnetic fields. The top working
surface covers the conductive layer and is flat for holding workpieces
upon the receiving of the current to create the electrostatic charge in
the conductive layer.
La invención es una tirada híbrida para asegurar los objetos con una carga electrostática. La tirada híbrida incluye una base dieléctrica para apoyar la tirada híbrida. La base dieléctrica tiene una superficie superior y una capa conductora cubre por lo menos una porción de la superficie superior de la base dieléctrica. La capa conductora es conductora para recibir una corriente que cree una carga electrostática y es na-metálico para mantener la carga electrostática sin pérdidas significativas de la corriente de Foucault en la presencia de campos electromagnéticos dinámicos. La superficie de funcionamiento superior cubre la capa conductora y es plana para sostener los objetos sobre la recepción de la corriente para crear la carga electrostática en la capa conductora.
