A molecular pump for exhausting a chamber has a casing, a stator mounted in
the casing, and a rotor mounted in the casing for undergoing rotation
relative to the stator during exhaustion of the container. The rotor has a
surface disposed opposite to and confronting a surface of the stator. A
thread groove is formed in at least one of the opposite and confronting
surfaces of the stator and the rotor. A clearance varying device varies a
magnitude of a clearance between the opposite and confronting surfaces of
the stator and the rotor. An exhaust controlling device controls a degree
of exhaustion of the chamber by adjusting the magnitude of the clearance
between the opposite and confronting surfaces of the stator and the rotor
to a preselected target value during operation of the molecular pump.
Una bomba molecular para agotar un compartimiento tiene una cubierta, un estator montado en la cubierta, y un rotor montado en la cubierta para experimentar la rotación concerniente al estator durante el agotamiento del envase. El rotor tiene un contrario dispuesto superficie a y enfrentamiento de una superficie del estator. Un surco del hilo de rosca se forma en por lo menos uno del contrario y las superficies del enfrentamiento del estator y del rotor. Un dispositivo que varía de la separación varía una magnitud de una separación entre el contrario y las superficies del enfrentamiento del estator y del rotor. Controles de un dispositivo del extractor que controlan al grado de agotamiento del compartimiento ajustando la magnitud de la separación entre el contrario y enfrentando las superficies del estator y del rotor a un valor de blanco pre-seleccion durante la operación de la bomba molecular.
