A micromachine and a manufacturing method are provided for a micromachine
that has a dynamic first microstructured portion serving as a drive
portion, and a static second microstructured portion adapted to perform a
switching function and which functions as an optical element. The second
microstructured portion can be manufactured at least without complex
steps, such as a silicon process, by forming a static second
microstructure on the dynamic first microstructured portion, or in such a
way as to be overlaid thereon by mold transfer. Thus, the microstructured
portion of a complex shape can be easily formed with good reproducibility.
When a plurality of elements are arranged in an array, similarly as in the
case of a spatial light modulator, the stable reproduction thereof is
achieved by the mold transfer. Thus, as compared with the case of
manufacturing all elements in a silicon process, the probability of an
occurrence of a defect is very low.
Un micromachine y un método de fabricación se proporcionan para un micromachine que tenga un primer dinámico microstructured la porción de la porción como una porción de la impulsión, y una segunda estático microstructured la porción adaptada para realizar una función de conmutación y que funcione como un elemento óptico. El segundo microstructured la porción se puede fabricar por lo menos sin pasos complejos, tales como un proceso del silicio, formando una segunda microestructura estática en la primera dinámico microstructured la porción, o de tal manera en cuanto a sea overlaid sobre eso por transferencia del molde. Así, microstructured la porción de una forma compleja puede ser formado fácilmente con buena reproductibilidad. Cuando una pluralidad de elementos se arregla en un arsenal, semejantemente como en el caso de un modulador ligero espacial, la reproducción estable de eso es alcanzada por la transferencia del molde. Así, con respecto al caso de fabricar todos los elementos en un proceso del silicio, la probabilidad de una ocurrencia de un defecto es muy baja.
