A cantilever having a step-up structure and a method of manufacturing the
same. The cantilever includes a substrate, an anchor formed on the
substrate, and a moving plate connected to the anchor while maintaining a
predetermined gap from the substrate. The anchor includes a first anchor
of a predetermined shape and a second anchor perpendicular to an edge of
the first anchor while being formed along a longitudinal axis of the
moving plate. Accordingly, a deformation of the cantilever caused by the
high temperature and pressure in a manufacturing process thereof is
considerably reduced. As a result, the yield rate of the cantilever is
improved, and the reliability of a product using the cantilever is also
improved.
Un voladizo teniendo una estructura elevadora y un método de fabricar igual. El voladizo incluye un substrato, un ancla formada en el substrato, y una placa móvil conectada con el ancla mientras que mantiene un boquete predeterminado del substrato. El ancla incluye una primera ancla de una forma predeterminada y de un segundo perpendicular del ancla a un borde de la primera ancla mientras que siendo formado a lo largo de un eje longitudinal de la placa móvil. Por consiguiente, una deformación del voladizo causado por la temperatura alta y la presión en un proceso de fabricación de eso se reduce considerablemente. Consecuentemente, el índice de la producción del voladizo se mejora, y la confiabilidad de un producto que usa el voladizo también se mejora.
