A comb-drive actuator includes a stationary comb structure having
stationary comb fingers interdigiated with comb fingers of a mobile comb
structure. The comb fingers include a p-type layer and an n-type layer
forming a diode junction in each finger. The diode junctions of either the
stationary comb fingers or the mobile comb finger are reversed biased,
while at least one layer of the other set of comb fingers is grounded.
This creates an attractive electric field between the sets of fingers,
causing the mobile comb structure to move. The mobile comb structure of
the actuator can be aligned along the rotational axis of a movable element
and attached at one end to the movable element and at the other end to a
flexure. The comb fingers can also be shaped to provide multi-gap and/or
variable gap configurations between the stationary and mobile comb
structures.
Peigne-conduisez le déclencheur inclut une structure stationnaire de peigne ayant les doigts stationnaires de peigne interdigiated avec des doigts de peigne d'une structure mobile de peigne. Les doigts de peigne incluent un p-type couche et un n-type couche formant une jonction de diode dans chaque doigt. Les jonctions de diode des doigts stationnaires de peigne ou du doigt mobile de peigne sont renversées décentrées, alors qu'au moins une couche de l'autre ensemble de doigts de peigne est fondue. Ceci crée un champ électrique attrayant entre les ensembles de doigts, faisant déplacer la structure mobile de peigne. La structure mobile de peigne du déclencheur peut être alignée le long de l'axe de rotation d'un élément mobile et être attachée à une extrémité à l'élément mobile et à l'autre extrémité à une flexure. Les doigts de peigne peuvent également être formés pour fournir l'multi-espace et/ou les configurations variables d'espace entre les structures stationnaires et mobiles de peigne.
