An integrated mesopump-sensor suitable for disposition in two- and
three-dimensional arrays having small dimensions is disclosed. One
mesopump is formed of an electrostatically attractable flexible diaphragm
disposed through cavities or pumping chambers formed between two opposing
electrostatically chargeable material layers. Fluid is pumped through the
chambers by sequentially moving the diaphragm toward the first chargeable
layer, then towards the second chargeable layer, which can pull and push
the fluid through a series of chambers, and past the sensor. One group of
sensors utilizes multiple and varied chemoresistive sensors which can vary
in resistance differently in response to the presence of various analytes.
Another group of sensors utilizes chemo-fluorescent sensors that fluoresce
in the presence of particular analytes. Some mesopump-sensor systems can
be manufactured using MEMS technology and can be coupled to controllers
for sequencing the pumps and analyzing sensor outputs using methods
including Principle Component Analysis.
Een geïntegreerde mesopump-sensor geschikt voor regeling in twee - en de driedimensionele series die kleine afmetingen hebben wordt onthuld. Één mesopump wordt gevormd van een elektrostatisch aantrekbaar flexibel diafragma dat door holten of pompende kamers wordt geschikt die tussen twee worden gevormd elektrostatisch zich verzet materiële lagen ten laste. De vloeistof wordt gepompt door de kamers door het diafragma naar de eerste laag ten laste, dan naar de tweede laag ten laste opeenvolgend te bewegen, die de vloeistof trekken en kan duwen door een reeks kamers, en voorbij de sensor. Één groep sensoren gebruikt veelvoudige en gevarieerde chemoresistive sensoren die in weerstand verschillend in antwoord op de aanwezigheid van diverse analytes kunnen variëren. Een andere groep sensoren gebruikt chemo-fluorescente sensoren die in aanwezigheid van bijzondere analytes fluoresceren. Sommige mesopump-sensorsystemen kunnen worden vervaardigd gebruikend technologie MEMS en kunnen aan controlemechanismen worden gekoppeld voor het rangschikken van de pompen en het analyseren van sensoroutput gebruikend methodes met inbegrip van de Analyse van de Component van het Principe.