An automated production process for the screening of the read-width (RW)
and/or the stripe-height (SH) for every magnetoresistive (MR) read sensor
element in a wafer substrate. The method of this invention uses the RW
and/or SH values found with optical examination by electron microscopy of
several of the MR sensor elements to estimate two substrate coefficients
that relates the optical RW and SH measurements to heating-delta
measurements, .delta.=(RH-RC)/RC, where RH is the sensor resistance when
hot and RC is the sensor resistance when cold, both of which can be
measured using automated equipment. These relationships are sufficiently
similar among all MR sensor elements manufactured on a single wafer
substrate during a single manufacturing procedure that, when the hot
resistance RH is measured at a constant applied voltage, the
heating-delta, may be used with a first substrate coefficient to estimate
the read-width RW of each MR sensor element for quality-control purposes
during manufacture. When the hot resistance RH is measured at a constant
applied current, the heating-delta may be used with a second substrate
coefficient to estimate the stripe-height SH of each MR sensor element for
quality-control purposes during manufacture.
Un procédé de production automatisé pour le criblage de la lire-largeur (RW) et/ou de la raie-taille (SH) pour chaque (M.) élément lu magnétorésistant de sonde dans un substrat de gaufrette. La méthode de cette invention emploie le RW et/ou les valeurs SH avérés avec l'examen optique par la microscopie électronique de plusieurs de M. éléments de sonde pour estimer deux coefficients de substrat qui rapporte le RW optique et les mesures SH aux mesures de chauffage-delta, delta.=(RH-RC)/RC, où le Rhésus est la résistance de sonde si chaude et RC est la résistance de sonde quand le froid, dont tous les deux peuvent être mesurés utilisant l'équipement automatisé. Ces rapports sont suffisamment semblables parmi tout le M. éléments de sonde construits sur un substrat simple de gaufrette pendant une méthode de fabrication simple que, quand le Rhésus chaud de résistance est mesuré à une tension appliquée constante, le chauffage-delta, peut être employé avec un premier coefficient de substrat pour estimer la lire-largeur RW de chaque M. élément de sonde pour la commande qualité- pendant la fabrication. Quand le Rhésus chaud de résistance est mesuré à un courant appliqué constant, le chauffage-delta peut être employé avec un deuxième coefficient de substrat pour estimer la raie-taille SH de chaque M. élément de sonde pour la commande qualité- pendant la fabrication.
