Multiple reflectivity band reflector with non-uniform profile and laser system employing same for laser wavelength monitoring

   
   

A monitored laser system has a laser having a first mirror; an exit mirror, at least a portion of a laser cavity defined by the first mirror and the exit mirror; and an active region located in the laser cavity, the active region containing a material that is capable of stimulated emission at one or more wavelengths of laser light within a tuning range of the laser. A multiple reflectivity band reflector (MRBR) is coupled to at least a portion of laser light emitted from the laser and transmits filtered laser light. The MRBR has a plurality of layers of material arranged in parallel such that the reflector has a plurality of reflectivity peaks within the tuning range, each reflectivity peak separated from neighboring reflectivity peak by a reflectivity trough having a trough minimum, said reflectivity peaks characterized by a peak profile and said trough minima between said reflectivity peaks characterized by a trough profile. At least one of the peak and trough profiles has a substantially non-constant relationship of wavelength to reflectivity. A first photodiode coupled to at least a portion of the filtered laser light produces an output based on the amount of light received. The emitted wavelength of the laser is adjusted toward a desired wavelength within the tuning range based at least in part on the output of the first photodiode.

Контролируемая система лазера имеет лазер иметь первое зеркало; зеркало выхода, по крайней мере часть полости лазера определенная первым зеркалом и зеркало выхода; и активно зона расположенная в полости лазера, активно зона содержа материал который способен простимулированного излучения на one or more длинах волны света лазера внутри настраивая ряд лазера. Множественный рефлектор полосы отражательной способности (MRBR) соединен к по крайней мере части света лазера испущенной от лазера и передает фильтрованный свет лазера. MRBR имеет множественность аранжированных слоев материала параллельно такие что рефлектор имеет множественность пиков отражательной способности в пределах настраивая ряда, каждого пика отражательной способности отделенного от соседского пика отражательной способности ринвом отражательной способности имея ринв минимальный, сказанных пиков отражательной способности, котор характеризует пиковый профиль и сказанных минимумов ринва между сказанными пиками отражательной способности, котор характеризует профиль ринва. По крайней мере один из профилей пика и ринва имеет существенн нон-posto4nn отношение длины волны к отражательной способности. Первый фотодиод соединенный к по крайней мере части фильтрованного света лазера производит выход основанный на полученном количестве света. Испущенная длина волны лазера отрегулирована к заданной длине волны внутри настраивая ряд основанный по крайней мере в части на выходе первого фотодиода.

 
Web www.patentalert.com

< Micro-actuator transducer stack inertia cancellation control

< Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby

> Interferometer system and method of manufacturing projection optical system using same

> Swageless mount plate or unimount arm based milliactuated suspension

~ 00121