An excimer or molecular fluorine laser system includes a discharge chamber
filled with a gas mixture, multiple electrodes within the discharge
chamber and connected to the discharge circuit for energizing the gas
mixture, a resonant cavity including the discharge chamber for generating
a laser beam, and an intracavity homogenizer for homogenizing an intensity
profile of the laser beam generated in the resonator. The intracavity
homogenizer may include each of a first bi-prism and a second bi-prism
disposed at opposite ends of the resonant cavity and having the discharge
chamber disposed therebetween. In this case, optical axes of the first
bi-prism and the second bi-prism are each at least substantially parallel
to the optical axis of the laser beam.
Um excimer ou um sistema molecular do laser do fluorine incluem uma câmara da descarga enchida com uma mistura do gás, uns elétrodos múltiplos dentro da câmara da descarga e conectada ao circuito da descarga para energizar a mistura do gás, uma cavidade resonant including a câmara da descarga para gerar um feixe de laser, e um homogenizer do intracavity para homogenizing um perfil da intensidade do feixe de laser gerado no ressonador. O homogenizer do intracavity pode incluir cada um de um primeiro bi-prism e um segundo bi-prism disposto em fins opostos da cavidade resonant e de ter a câmara da descarga disposta therebetween. Neste caso, os machados óticos do primeiro bi-prism e o segundo bi-prism são cada um ao menos substancialmente paralela à linha central ótica do feixe de laser.
