The present invention provides a different optical element having superior
optical characteristics. A polycrystalline substrate having crystal grains
whose sizes are not more than 1 .mu.m or an amorphous phase at the
dry-etched surface thereof, or an upper film layer 8 formed on a
polycrystalline substrate 1 being the same materials as that of the
polycrystalline substrate 1, which has finer crystal grains than-those of
the substrate. The upper film layer 8 is dry etched, and AR coat 6 is
formed thereon.
A invenção atual fornece um elemento ótico diferente que tem características óticas superiores. Uma carcaça polycrystalline que têm as grões de cristal cujos os tamanhos não são mais de 1 mu.m ou uma fase amorfa na superfície seco-gravada disso, ou uma camada superior 8 da película deram forma em uma carcaça polycrystalline 1 que é os mesmos materiais que aquela da carcaça polycrystalline 1, que tem umas grões de cristal mais finas do que-aquelas da carcaça. A camada superior 8 da película é gravado seco, e o revestimento 6 de AR é dado forma thereon.
