Electrostatic actuator and method of driving the same

   
   

An electrostatic actuator comprises first and second movable sections and a stator. The stator has a hollow frame into which the movable sections are arranged independently. Driving electrodes are provided on surfaces of the movable sections and holding electrodes are also provided on the opposite surfaces pf the movable section. A driving electrode section is provided on the inner surface of the stator facing the driving electrodes on the movable section. Also, holding electrode sections are provided on the inner surface of the stator facing the holding electrodes on the movable section. Stripes of the electrodes are arranged in a longitudinal direction and each strip is extended in a lateral direction crossing the longitudinal direction, and the holding electrodes are extended in the longitudinal direction.

Um atuador eletrostático compreende seções primeiramente e em segundo móveis e um estator. O estator tem um frame oco em que as seções móveis são arranjadas independentemente. Dirigindo os elétrodos são fornecidos em superfícies das seções móveis e prendendo os elétrodos são fornecidos também nas superfícies pf do oposto a seção móvel. Uma seção dirigindo do elétrodo é fornecida na superfície interna do estator que enfrenta os elétrodos dirigindo na seção móvel. Também, prendendo o elétrodo as seções são fornecidas na superfície interna do estator que enfrenta os elétrodos prendendo na seção móvel. Os listras dos elétrodos são arranjados em um sentido longitudinal e cada tira é estendida em um sentido lateral que cruza o sentido longitudinal, e os elétrodos prendendo são estendidos no sentido longitudinal.

 
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