Disclosed are apparatus and methods for optically inspecting a voltage
contrast type test structure, product circuit pattern, or the like. An
optical image of a voltage contrast type test structure is generated. When
the optical image has a first type of intensity pattern, it is determined
that there is a defect within the test structure. When the optical image
has a second type of intensity pattern, it is determined that there is no
defect. The intensity patterns correspond to different voltage potential
patterns that are expected to be generated if the test structure were
subject to a voltage contrast inspection.
Показаны приборы и методы для оптически проверять структуру испытания типа контраста напряжения тока, картину цепи продукта, или подобие. Произведено оптически изображение структуры испытания типа контраста напряжения тока. Когда оптически изображение имеет первый тип картины интенсивности, обусловлено что будет дефект внутри структура испытания. Когда оптически изображение имеет второй тип картины интенсивности, обусловлено что не будет дефекта. Картины интенсивности соответствуют к картинам по-разному напряжения тока потенциальным ы, что произведены если структура испытания была subject to осмотр контраста напряжения тока.
