A transfer apparatus (42) for a semiconductor processing system includes a
transfer member (44) having a support portion (48) to place a target
substrate (W) thereon, and a drive unit (68) for driving the transfer
member (44). A reference mark (54) is disposed adjacent to the support
portion (48). The target substrate (W) has optically observable first and
second portions (84, 86). A storage section (63) stores a normal image
that shows a positional correlation between the reference mark (54) and
the first and second portions (84, 86), obtained when the target substrate
(W) is placed on the support portion (48) at a normal position. An image
pick-up device (62A) takes a detection image that shows a positional
correlation between the reference mark (54) and the first and second
portions (84, 86), when the transfer member (44) transfers the target
substrate (W). An information processing unit (62B) obtains a misalignment
amount of the target substrate (W) relative to the normal position, based
on the normal image and the detection image.
Прибор перехода (42) для системы обработки полупроводника вклюает член перехода (44) имея часть поддержки (48) для того чтобы установить субстрат цели (W) thereon, и блок привода (68) для управлять членом перехода (44). Метка справки (54) размещана за частью поддержки (48). Субстрат цели (W) имеет оптически observable сперва и вторые части (84, 86). Раздел хранения (63) хранит нормальное изображение показывает позиционноцикловую корреляцию между меткой справки (54) и первыми и вторыми частями (84, 86), полученное когда субстрат цели (W) помещен на части поддержки (48) на положении "нормально". Приспособление приемистости изображения (62ЈA) принимает изображение обнаружения показывает позиционноцикловую корреляцию между меткой справки (54) и первыми и вторыми частями (84, 86), когда член перехода (44) переносит субстрат цели (w). Блка обработки информации (62B) получает количество рассогласования субстрата цели (W) по отношению к положению "нормально", основанное на нормальном изображении и изображении обнаружения.
