A modular stocker for storage and retrieval of semi-conductor wafer
cassettes that minimizes system down time for repair of replacement of
components. The modular stocker is comprised of a rectangular or half
cylindrical enclosure formed by vertical beams secured by a plurality of
horizontal joists. A pick up and transfer device for storing and
retrieving semi-conductor wafer cassettes in the stocker has a linear arm
and a paddle or gripper for picking up the cassettes. The linear arm and
paddle or gripper are driven vertically, horizontally, and rotationally by
a plurality of servo motors which are mounted on a detachable chassis that
forms one side of the stocker. Quick disconnect fasteners at the corners
of the chassis and bottom mounted casters allow the entire chassis with
the pick up and transfer device to be disconnected and rolled out of the
stocker for repair or replacement. The stocker electronics are mounted on
removable panels that slide in or out of the stocker on rails. The modular
construction of the stocker allows quick and efficient repair or
replacement of the pick up and transfer device or system electronics to
restore a stocker to service with minimum down time.
Modulaire stocker voor opslag en herwinning van de cassettes van het halfgeleiderwafeltje die systeemonderbreking voor reparatie van vervanging van componenten minimaliseert. Modulaire stocker wordt van een rechthoekige of halve cilindrische bijlage samengesteld die door verticale stralen wordt gevormd die door een meerderheid van horizontale dwarsbalken worden beveiligd. Een ver*beteren en overdrachtapparaat om de cassettes van het halfgeleiderwafeltje in stocker op te slaan en terug te winnen heeft een lineair wapen en een peddel of een tang voor het opnemen van de cassettes. Het lineaire wapen en de peddel of de tang worden verticaal gedreven, horizontaal, en rotationally door een meerderheid van servomotoren die op een afneembaar chassis worden opgezet dat één kant van stocker vormt. Maak snel bevestigingsmiddelen bij de hoeken van de chassis los en laten de bodem opgezette gietmachines de volledige chassis met het ver*beteren en overdrachtapparaat toe om van stocker voor reparatie of vervanging worden losgemaakt en worden ontwikkeld. De stocker elektronika wordt opgezet op verwijderbare panelen die binnen of uit stocker op sporen glijden. De modulaire bouw van stocker staat snelle en efficiënte reparatie of vervanging van de ver*beteren en van het van het overdrachtapparaat of systeem elektronika toe om stocker aan de dienst met minimumonderbreking te herstellen.
