A multi-wavelength surface emitting laser for emitting light having
different wavelengths includes a lower reflector, an active layer and an
upper reflector which are integrally formed above one substrate. The
multi-wavelength surface emitting laser is manufactured by forming a first
surface emitting laser, partially removing a first upper reflector, a
first active layer, and a first lower reflection layer by etching. A
protection film is formed on the outer surface of the first surface
emitting laser. A second surface emitting laser is formed by removing a
second lower reflector, a second active layer, and a second upper
reflection layer formed on the protection film by etching. The protection
film is removed and first and second upper electrodes are formed on upper
surfaces of the first and second upper reflection layers, respectively,
and a lower electrode is formed on a bottom surface of the substrate.
Лазер мулти-dliny волны поверхностный испуская для испускать свет имея по-разному длины волны вклюает более низкий рефлектор, активно слой и верхний рефлектор которые монолитно сформированы над одним субстратом. Лазер мулти-dliny волны поверхностный испуская изготовлен путем формировать первую поверхность испуская лазер, частично извлекая первый верхний рефлектор, первый активно слой, и первый более низкий слой отражения вытравливанием. Пленка предохранения сформирована на наружной поверхности первой поверхности испуская лазер. Вторая поверхность испуская лазер сформирована путем извлекать второй более низкий рефлектор, второй активно слой, и второй верхний слой отражения сформированный на пленке предохранения вытравливанием. Пленка предохранения извлекается и сперва и во-вторых верхние электроды сформированы на верхних поверхностях первого и второе верхнее отражение наслаивает, соответственно, и более низкий электрод сформирован на нижней поверхности субстрата.
