The present invention provides a multi-stage vacuum pump which includes: a
housing in which a plurality of pumping chambers are formed, the pumping
chambers being arranged in series and being in fluid communication with
one another, one of the pumping chambers which is at one end of the series
acting as an initial stage pumping chamber, another of the pumping chamber
which is at the other end of the series acting as a final stage pumping
chamber, the housing being provided with an inlet port for sucking a gas
from a space to be evacuated into the initial stage pumping chamber, the
housing being provided with an outlet port for exhausting the gas from the
final stage pumping chamber; a Roots-type pump section occupying each of
the pumping chambers; and a device for decreasing a temperature
differential between the initial stage pumping chamber and the final stage
pumping chamber.
La presente invenzione fornisce un pulsometro a più stadi che include: un alloggiamento in cui una pluralità di alloggiamenti di pompaggio è formata, gli alloggiamenti di pompaggio che sono organizzati in serie ed essendo nella comunicazione fluida tra loro, uno degli alloggiamenti di pompaggio che è all'una fine della serie che funge da alloggiamento di pompaggio della fase iniziale, un altro dell'alloggiamento di pompaggio che è all'altra estremità della serie che funge da alloggiamento di pompaggio della fase finale, l'alloggiamento che è munito di un foro di entrata per il succhiamento del gas da uno spazio da evacuare nell'alloggiamento di pompaggio della fase iniziale, l'alloggiamento che è munito di un orificio di presa per esaurire il gas dall'alloggiamento di pompaggio della fase finale; un Radice-tipo sezione della pompa che occupa ciascuno degli alloggiamenti di pompaggio; e un dispositivo per fare diminuire un differenziale di temperatura fra l'alloggiamento di pompaggio della fase iniziale e l'alloggiamento di pompaggio della fase finale.
