A plurality of processing chambers are connected to a common chamber (103
in FIG. 1), and they comprehend a processing chamber for oxidation (107),
a processing chamber for solution application (108), a processing chamber
for baking (109), and processing chambers for vapor-phase film formation
(110, 111). Owing to a thin-film forming apparatus of such construction,
it is permitted to fabricate an EL (electroluminescence) element employing
a high-molecular EL material, without touching the open air. Thus, an EL
display device of high reliability can be fabricated.
Eine Mehrzahl der Verarbeitung der Räume werden an einen allgemeinen Raum angeschlossen (103 in FIG. 1) und sie begreifen einen verarbeitenraum für Oxidation (107), einen verarbeitenraum für Lösung Anwendung (108), ein verarbeitenraum für Backen (109), und Räume für Dampf-Phase verarbeitend, filmen Sie Anordnung (110, 111). Infolge von einem Dünnfilmbildenapparat solchen Aufbaus, wird sie die Erlaubnis gehabt, um ein EL (electroluminescence) Element zu fabrizieren, das ein Hochmolekular-EL Material einsetzt, ohne die geöffnete Luft zu berühren. So kann ein EL Sichtanzeigegerät der hohen Zuverlässigkeit fabriziert werden.
