An X-ray topographic system comprises an X-ray generator producing a beam
of X-rays impinging on a limited area of a sample such as a silicon wafer.
A solid state detector is positioned to intercept the beam after
transmission through or reflection from the sample. The detector has an
array of pixels matching the beam area to produce a digital image of said
limited area. Relative stepping motion between the X-ray generator and the
sample produces a series of digital images which are combined together. In
optional embodiments, an X-ray optic is interposed to produce a parallel
beam to avoid image doubling, or the effect of image doubling is removed
by software.
Un sistema topográfico de la radiografía abarca un generador de la radiografía produciendo una viga de las radiografías que afectan a un área limitada de una muestra tal como una oblea de silicio. Un detector de estado sólido se coloca para interceptar la viga después de la transmisión por o de la reflexión de la muestra. El detector tiene un arsenal de pixeles que emparejan el área de la viga para producir una imagen digital del área limitada dicha. El movimiento que camina relativo entre el generador de la radiografía y la muestra produce una serie de imágenes digitales que se combinen juntas. En encarnaciones opcionales, una radiografía óptica se interpone para producir una viga paralela para evitar la imagen que dobla, o el efecto de doblar de la imagen es quitado por el software.
