A MEMS device having a movable mirror and a movable actuator plate
mechanically coupled together such that a relatively small displacement of
the plate results in mirror rotation by a relatively large angle. In a
representative embodiment, the mirror and actuator plate are supported on
a substrate. The actuator plate moves in response to a voltage difference
applied between the plate and an electrode located on the substrate
beneath that plate. One or more springs attached to the plate provide a
counteracting restoring force when they are stretched from their rest
positions by the plate motion. A spring attached between the actuator
plate and the mirror transfers the motion of the actuator plate to the
mirror such that, when the actuator plate moves toward the substrate, the
mirror moves away from the substrate. A representative MEMS device of the
invention configured with a mirror that is about 100 .mu.m in length is
capable of producing the mirror rotation angle of about 15 degrees using
an actuator voltage of only about 50 V.
Un dispositivo de MEMS que tiene un espejo movible y un actuador movible platean mecánicamente juntado juntos tales que una dislocación relativamente pequeña de la placa da lugar a la rotación del espejo por un ángulo relativamente grande. En una encarnación representativa, la placa del espejo y del actuador se apoya en un substrato. Los movimientos de la placa del actuador en respuesta a una diferencia del voltaje se aplicaron entre la placa y un electrodo situados en el substrato debajo de esa placa. Unos o más resortes unidos a la placa proporcionan una fuerza de restauración que contraría cuando son estirados de sus posiciones de resto por el movimiento de la placa. Un resorte unido entre la placa del actuador y el espejo transfiere el movimiento de la placa del actuador al espejo tales que, cuando la placa del actuador se mueve hacia el substrato, el espejo se mueve lejos desde el substrato. Un dispositivo del representante MEMS de la invención configurada con un espejo que sea el mu.m cerca de 100 en longitud es capaz de producir el ángulo de la rotación del espejo de cerca de 15 grados usando un voltaje del actuador de solamente cerca de 50 V.
