A drive circuit for a MEMS device, an integrated circuit having a plurality
of MEMS devices and drivers, a method of operating the drive circuit and a
method of manufacturing the integrated circuit. In one embodiment, the
drive circuit includes: (1) an electrode driver and (2) a switching
network, coupled to an output of said electrode driver that: (a) in a
first configuration, couples said output to a first electrode of an axis
of said MEMS device and grounds an opposing second electrode of said axis
of said MEMS device and (b) in a second configuration, couples said output
to said second electrode and grounds said first electrode.
Een aandrijvingskring voor een apparaat MEMS, een geïntegreerde schakeling een meerderheid van apparaten MEMS en bestuurders hebben, een methode om de aandrijvingskring in werking te stellen en een methode die om de geïntegreerde schakeling te vervaardigen. In één belichaming, omvat de aandrijvingskring: (1) een elektrodenbestuurder en (2) een omschakelingsnetwerk, koppelden aan een output van bovengenoemde elektrodenbestuurder die: (a) in een eerste configuratie, zeiden de paren output aan een eerste elektrode van een as van bovengenoemd apparaat MEMS en zet een het verzetten zich tweede elektrode van bovengenoemde as van bovengenoemd apparaat MEMS en (b) in een tweede configuratie aan de grond, koppelt bovengenoemde output aan bovengenoemde tweede elektrode en zet bovengenoemde eerste elektrode aan de grond.
