A pellicle comprising a box-shaped pellicle frame having top and bottom
openings, and a pellicle sheet bonded to the pellicle frame to cover one
of the openings of the pellicle frame, wherein the pellicle frame is made
of quartz glass, a plurality of vent holes are formed as distributed on
opposing side walls of the pellicle frame, and the size of the vent holes
in the direction of the height of the pellicle frame is at most 3/5 of the
height of the pellicle frame.
Een pellicle uit een doosvormig pelliclekader bestaan die bovenkant en bodemopeningen hebben, en een pellicleblad die in entrepot op het pelliclekader om één van de openingen van het pelliclekader te omvatten, waarin het pelliclekader van kwartsglas wordt gemaakt, worden een meerderheid van openingsgaten gevormd zoals die op het verzetten zich zijmuren van het pelliclekader wordt verdeeld, en de grootte van de openingsgaten in de richting van de hoogte van het pelliclekader is hoogstens het meeste 3/5 van de hoogte van het pelliclekader.
