Silicon-based composition, low dielectric constant film, semiconductor device, and method for producing low dielectric constant film

   
   

A composition comprising a siloxane resin, a silicon compound substantially consisting of silicon, carbon and hydrogen, wherein the number ratio of carbon to silicon atoms forming an --X-- bond (wherein X is (C).sub.m (where m is an integer in the range of from 1 to 3), or a substituted or unsubstituted aromatic group with 9 or less carbon atoms) in the main chain of one molecule is in the range of from 2:1 to 12:1, and a solvent, is subjected to a heat treatment to form a low dielectric constant film. Accordingly, a low dielectric constant film having excellent resistance against chemicals and excellent moisture resistance is provided. A semiconductor integrated circuit having a fast response can be produced by using the film.

Een samenstelling die uit een siloxane hars, uit een siliciumsamenstelling wezenlijk uit silicium bestaan, koolstof en waterstof bestaat die, waarin de aantalverhouding die van koolstof aan siliciumatomen een xx vormen -- band (waarin X (C).sub.m (waar m een geheel in de waaier van van 1 tot 3) is, of een gesubstitueerde of unsubstituted aromatische groep met 9 is of minder koolstofatomen) in de belangrijkste ketting van één molecule in de waaier van van 2:1 tot 12:1 is, en een oplosmiddel, aan een thermische behandeling wordt onderworpen om een lage diëlektrische constantefilm te vormen. Dienovereenkomstig, wordt een lage diëlektrische constantefilm die uitstekende weerstand tegen chemische producten en uitstekende vochtigheidsweerstand heeft verstrekt. Een halfgeleidergeïntegreerde schakeling die een snelle reactie heeft kan worden geproduceerd door de film te gebruiken.

 
Web www.patentalert.com

< Curable silicone resin composition and reactive silicon compounds

< Resistor structure

> Microstructure-bearing articles of high refractive index

> Method and apparatus for thermally insulated and earth cooled electronic components within an electronic system

~ 00128