Forming a capacitor, by (a) forming a matrix of ferroelectric capacitor
elements on a substrate, (b) forming a CAP layer over the ferroelectric
capacitor elements, and (c) etching the CAP layer to a more uniform
thickness. A capacitor that has a substrate layer, a matrix of
ferroelectric capacitor elements including a first electrode layer
substantially fixed relative to the substrate, a second electrode layer,
and a ferroelectric layer sandwiched between the first and second
electrode layers is disclosed. The capacitor has a shoulder layer
extending from the substrate to the matrix, and a CAP layer etched to have
substantially constant thickness covering sides of the matrix extending
beyond the substrate.
Formando un condensatore, (a) formando una tabella degli elementi ferroelectric del condensatore su un substrato, (b) formando uno strato della PROTEZIONE sopra gli elementi ferroelectric del condensatore e (c) incidendo lo strato all'acquaforte della PROTEZIONE ad un più spessore dell'uniforme. Un condensatore che ha uno strato del substrato, una tabella degli elementi ferroelectric del condensatore compreso un primo strato dell'elettrodo ha riparato sostanzialmente riguardante il substrato, un secondo strato dell'elettrodo e uno strato ferroelectric intramezzato fra i primi e secondi strati dell'elettrodo è rilevato. Il condensatore ha uno strato della spalla estendersi dal substrato fino la tabella e uno strato della PROTEZIONE inciso per avere lati sostanzialmente costanti del covering di spessore della tabella che si estende oltre il substrato.
