Field emission-type electron source and method of biasing the same

   
   

An electron source (10) has an electron source element (10a) including a lower electrode (12), a drift layer (6) and a surface electrode (7). The drift layer (6) is interposed between the lower electrode (12) and the surface electrode (7). When a certain voltage is applied between the surface electrode (7) and the lower electrode (12) such that the surface electrode (7) has a higher potential than that of the lower electrode (12), a resultingly induced electric field allows electrons to pass through the drift layer (6) and then the electrons are emitted through the surface electrode (7). When a forward-bias voltage is applied between the surface electrode (7) and the lower electrode (12), a reverse-bias voltage is applied after the forward-bias voltage has been applied to release out of the drift layer (6) an electron captured by a trap (9) in the drift layer (6).

Una fuente del electrón (10) tiene un elemento de la fuente del electrón (10a) incluyendo un electrodo más bajo (12), una capa de la deriva (6) y un electrodo superficial (7). La capa de la deriva (6) se interpone entre el electrodo más bajo (12) y el electrodo superficial (7). Cuando cierto voltaje se aplica entre el electrodo superficial (7) y el electrodo más bajo (12) tales que el electrodo superficial (7) tiene un potencial más alto que el del electrodo más bajo (12), un campo eléctrico resultingly inducido permite que los electrones pasen con la capa de la deriva (6) y entonces los electrones se emiten a través del electrodo superficial (7). Cuando un voltaje del delantero-diagonal se aplica entre el electrodo superficial (7) y el electrodo más bajo (12), se aplica un voltaje del reverso-diagonal después de que el voltaje del delantero-diagonal se haya aplicado al lanzamiento fuera de la capa de la deriva (6) un electrón capturado por una trampa (9) en la capa de la deriva (6).

 
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