Excimer or molecular laser with optimized spectral purity

   
   

A final stage capacitance of a pulse compression circuit for an excimer or molecular fluorine lithography laser system is provided by a set of peaking capacitors connected through a first inductance to the electrodes and a set of sustaining capacitors connected to the electrodes through a second inductance substantially greater than the first inductance. Current pulses through the discharge are temporally extended relative to current pulses of a system having its final stage capacitance provided only by a set of peaking capacitors connected to the electrodes via the first inductance. An amplified spontaneous emission (ASE) level in the laser pulses is reduced thereby enhancing their spectral purity.

Een definitief stadiumcapacitieve weerstand van een kring van de impulscompressie voor excimer of moleculair een de lasersysteem van de fluorlithografie wordt door een reeks van het een hoogtepunt bereiken van condensatoren verstrekt die door een eerste inductantie met de elektroden worden verbonden en een reeks van het ondersteunen van condensatoren die met de elektroden door een tweede inductantie wezenlijk groter worden verbonden dan de eerste inductantie. De huidige impulsen door de lossing worden tijdelijk met betrekking tot huidige impulsen van een systeem uitgebreid dat zijn definitief stadiumcapacitieve weerstand heeft die slechts door een reeks van het een hoogtepunt bereiken van condensatoren wordt verstrekt die met de elektroden via de eerste inductantie worden verbonden. Een vergroot spontaan emissie (ASE) niveau in de laserimpulsen wordt verminderd daardoor verbeterend hun spectrale zuiverheid.

 
Web www.patentalert.com

< Laser device

< Semiconductor laser

> Semiconductor laser device and optical pickup device

> Polymeric liquid metal optical switch

~ 00128