A final stage capacitance of a pulse compression circuit for an excimer or
molecular fluorine lithography laser system is provided by a set of
peaking capacitors connected through a first inductance to the electrodes
and a set of sustaining capacitors connected to the electrodes through a
second inductance substantially greater than the first inductance. Current
pulses through the discharge are temporally extended relative to current
pulses of a system having its final stage capacitance provided only by a
set of peaking capacitors connected to the electrodes via the first
inductance. An amplified spontaneous emission (ASE) level in the laser
pulses is reduced thereby enhancing their spectral purity.
Een definitief stadiumcapacitieve weerstand van een kring van de impulscompressie voor excimer of moleculair een de lasersysteem van de fluorlithografie wordt door een reeks van het een hoogtepunt bereiken van condensatoren verstrekt die door een eerste inductantie met de elektroden worden verbonden en een reeks van het ondersteunen van condensatoren die met de elektroden door een tweede inductantie wezenlijk groter worden verbonden dan de eerste inductantie. De huidige impulsen door de lossing worden tijdelijk met betrekking tot huidige impulsen van een systeem uitgebreid dat zijn definitief stadiumcapacitieve weerstand heeft die slechts door een reeks van het een hoogtepunt bereiken van condensatoren wordt verstrekt die met de elektroden via de eerste inductantie worden verbonden. Een vergroot spontaan emissie (ASE) niveau in de laserimpulsen wordt verminderd daardoor verbeterend hun spectrale zuiverheid.
