An apparatus and method for detection of electromechanical and mechanical
errors in an electron beam device is provided. First the existing subfield
is divided into a gridlike structure where each grid can be considered a
target. Then a plurality of target points are provided on each grid for
measuring combined directional variances. The separated horizontal and
vertical variances is also measured for each of the target points. This
leads to the performance of a significance tests, based on the F statistic
which we refer to as F.sub.HV, for horizontal and vertical values of each
target points during which F.sub.STITCH values are also obtained. The
F.sub.STITCH values are then compared for horizontal and vertical values
and an error alert provided when there is a sufficiently large disparity
between the separated F.sub.STITCH values. In an alternate embodiment of
the present invention, a three dimensional grid is also provided to be
used in a similar manner. The severity of the error can also be determined
based on the disparity of the values. Lastly we refer to a simple F
statistic for testing for flatness of the entire field, based on row and
field information and refer to it as F.sub.ROWS.
Een apparaat en een methode voor opsporing van elektromechanische en mechanische fouten in een elektronenstraalapparaat worden verstrekt. Eerst is het bestaande deelgebied verdeeld in een gridlikestructuur waar elk net als een doel kan worden beschouwd. Dan wordt een meerderheid van doelpunten verstrekt op elk net voor het meten van gecombineerde richtingverschillen. De gescheiden horizontale en verticale verschillen wordt ook gemeten voor elk van de doelpunten. Dit leidt tot de prestaties van een betekenis test, gebaseerd op de F- statistiek die wij doorverwijzen naar aangezien F.sub.HV, voor horizontale en verticale waarden van elk doel richt tijdens welke F.sub.STITCH waarden ook worden verkregen. De waarden F.sub.STITCH worden dan vergeleken voor horizontale en verticale waarden en een foutenalarm bepaalde wanneer er een voldoende grote ongelijkheid tussen de gescheiden waarden F.sub.STITCH is. In een afwisselende belichaming van de onderhavige uitvinding, wordt een driedimensioneel net ook verstrekt om op een gelijkaardige manier worden gebruikt. De strengheid van de fout kan ook worden bepaald gebaseerd op de ongelijkheid van de waarden. Ten slotte verwijzen wij naar een eenvoudige F- statistiek voor het testen voor vlakheid van het volledige gebied, die op rij en gebiedsinformatie wordt gebaseerd en verwijzen naar het als F.sub.ROWS.
