The illumination energy of an excimer laser is measured and adjusted to
always effect illumination at constant energy. A laser beam output from an
optics is reflected by a mirror, and applied to a sample. A beam profiler
is disposed behind the mirror to measure the energy of an illumination
laser beam. An energy attenuating device disposed between another mirror
and the optics is operated based on the measurement value so that the
energy of the laser beam applied to the sample is kept constant.
De verlichtingsenergie van een excimer laser wordt gemeten en aangepast om verlichting bij constante energie altijd uit te voeren. Een laserstraaloutput van een optica wordt weerspiegeld door een spiegel, en toegepast op een steekproef. Een straal wordt profiler geschikt achter de spiegel om de energie van een verlichtingslaserstraal te meten. Een energie verminderend apparaat dat tussen een andere spiegel en optica wordt geschikt wordt in werking gesteld gebaseerd op de metingswaarde zodat de energie van de laserstraal die op de steekproef wordt toegepast constant wordt gehouden.